A Micro Lens Actuator for Optical Flying Head

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Micro Lens Actuator for Optical Flying Head

著者

和文:	Seiichi HATA, Yutaka YAMADA, Junichi ICHIHARA, Akira SHIMOKOHBE.
英文:	Seiichi HATA, Yutaka YAMADA, Junichi ICHIHARA, Akira SHIMOKOHBE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Technical Digest of The 15th IEEE International Conference on MEMS 2002

巻, 号, ページ

pp. 507-510

出版年月

2002年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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