リニアモータによる高速ナノメートル位置決め(学習制御による高精度位置決めの実現) | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	リニアモータによる高速ナノメートル位置決め(学習制御による高精度位置決めの実現)
英文:

著者

和文:	吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲.
英文:	Hayato Yoshioka, Hitoshi Hashizume, Hidenori Shinno.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会2000年度年次大会講演論文集(III)
英文:

巻, 号, ページ

pp. 543-544

出版年月

2000年1月

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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