４開口法レーザスペックル干渉計による２次元面内変位測定の高精度化

論文・著書情報

タイトル

和文:	４開口法レーザスペックル干渉計による２次元面内変位測定の高精度化
英文:	Improvement ofAccuracy of Measurment of Two-dimensional In-plane Displacement by Laser Speckle Interferometer with Quad Aperture Method

著者

和文:	松浦大輔, 岩附信行, 森川広一, 岩村通隆, 林　巖, 齋藤正毅, 後藤博史.
英文:	松浦大輔, 岩附信行, 森川広一, 岩村通隆, 林　巖, 齋藤正毅, 後藤博史.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:	Proc. of JSPE Autumn Conference

巻, 号, ページ

pp. 82

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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