Mechanical Characterization of Micro/Nano Scale structures for MAMS/NEMS Applications using Nanoindentation Technique

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Characterization of Micro/Nano Scale structures for MAMS/NEMS Applications using Nanoindentation Technique

著者

和文:	X. Li, B. Bhushan, K. Takashima, C-W. Baek, Y-K. Kim.
英文:	X. Li, B. Bhushan, K. Takashima, C-W. Baek, Y-K. Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ultramicroscopy

巻, 号, ページ

Vol. 97 pp. 481-494

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: