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論文・著書情報


タイトル
和文:マイクロ波放電酸素プラズマの回転温度に関する希ガス混入の影響 
英文: 
著者
和文: 直井浩一, 坂本武士, 北村直久, 松浦治明, 赤塚洋.  
英文: 直井浩一, 坂本武士, 北村直久, 松浦治明, 赤塚洋.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:平成16年度日本分光学会春季講演会講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 76
出版年月 2004年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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