A positive type alkaline developable thermally stable and photosensitive polymer based on partially O-methylated poly(2 6-dihydroxy-1 5-naphthylene) an acidolytic de-cross-linker and a photoacid generator.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A positive type alkaline developable thermally stable and photosensitive polymer based on partially O-methylated poly(2 6-dihydroxy-1 5-naphthylene) an acidolytic de-cross-linker and a photoacid generator.

著者

和文:	芝崎祐二.
英文:	Yuji Shibasaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Polymer

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 20 pp. 6873

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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