Numerical Investigation for Nano-particle Synthesis in an RF Inductively Coupled Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical Investigation for Nano-particle Synthesis in an RF Inductively Coupled Plasma

著者

和文:	Masaya Shigeta, Takayuki Watanabe, Hideya Nishiyama.
英文:	Masaya Shigeta, Takayuki Watanabe, Hideya Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 457 No. 1 pp. 192-200

出版年月

2004年6月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI