Thermodinamic Study on Oxidation of Refractory Metals in Oxygen Cold Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermodinamic Study on Oxidation of Refractory Metals in Oxygen Cold Plasma

著者

和文:	T. Saburi, T. Suzuki, K. Kiuchi, Y. Fujii.
英文:	T. Saburi, T. Suzuki, K. Kiuchi, Y. Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology & 17th Symposium on Plasma Science for Materials

巻, 号, ページ

pp. 349

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: