Simulation Data Generation from Extended EGA Model and Optimization of Alignment Strategy for Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Simulation Data Generation from Extended EGA Model and Optimization of Alignment Strategy for Lithography

著者

和文:	Shin-ichi Nakajima Sumio Watanabe.
英文:	Shin-ichi Nakajima Sumio Watanabe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of International Symposium on Information Theory and its Applications,

巻, 号, ページ

pp. CD-ROM

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: