Fabrication of Fe-C soft magnetic thin films by facing-targets sputtering method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Fe-C soft magnetic thin films by facing-targets sputtering method

著者

和文:	Yoshitaka Kitamoto, Hiroyuki Tagami, Kyung-Ku Choi, Yohtaro Yamazaki.
英文:	Yoshitaka Kitamoto, Hiroyuki Tagami, Kyung-Ku Choi, Yohtaro Yamazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	5th International Symposium on Electrochemical Micro & Nnano System Technologies

巻, 号, ページ

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: