A Fabrication Technique of Complex 3D-microstructures Using ELID Grinding and Thick Photoresist Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Fabrication Technique of Complex 3D-microstructures Using ELID Grinding and Thick Photoresist Lithography

著者

和文:	金俊完, Yutaka Yamagata, Hitoshi Ohmori, Toshiro Higuchi.
英文:	Joon-wan Kim, Yutaka Yamagata, Hitoshi Ohmori, Toshiro Higuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of Korea-Japan Joint Symposium on Nanoengineering 2003

巻, 号, ページ

pp. 249-250

出版年月

2003年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proceedings of Korea-Japan Joint Symposium on Nanoengineering 2003

開催地

和文:
英文: