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論文・著書情報


タイトル
和文:マイクロフローセルのための静電容量型高分解能変位計の開発 
英文: 
著者
和文: 金俊完, 山形豊, 林漢錫, 井上浩三, 樋口俊郎, 牧野内昭武.  
英文: Joon-wan KIM, 山形豊, 林漢錫, 井上浩三, 樋口俊郎, 牧野内昭武.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会2000年秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. G22        pp. 282
出版年月 2000年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:精密工学会2000年秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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