Synthesis of Poly[N-(1-adamantyl)vinylsulfonamide-co-2-(2-methyl)adamantylmethacrylate] for 193 nm Lithography.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of Poly[N-(1-adamantyl)vinylsulfonamide-co-2-(2-methyl)adamantylmethacrylate] for 193 nm Lithography.

著者

和文:	Fukuhara Toshiaki, Shibasaki Yuji, Ando Shinji, Kishimura Shinji, Endo Masayuki, Sasago Masaru, Ueda Mitsuru..
英文:	Fukuhara Toshiaki, Shibasaki Yuji, Ando Shinji, Kishimura Shinji, Endo Masayuki, Sasago Masaru, Ueda Mitsuru..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Macromolecules

巻, 号, ページ

Vol. 38 No. 8 pp. 3041-3043

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: