マイクロプラズマを使ったシリコンナノ粒子の気相合成

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロプラズマを使ったシリコンナノ粒子の気相合成
英文:	Synthesis of silicon nanocrystals in microplasma reactor

著者

和文:	野崎智洋, 佐々木健二, 荻野智久, 朝日大介, 岡崎健.
英文:	Tomohiro Nozaki, Kenji Sasaki, Tomohisa Ogino, Daisuke Asahi, Ken Okazaki.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thermal Science and Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 14 No. 4 pp. 75-81

出版年月

2006年12月

出版者

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会議名称

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開催地

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