Synthesis of silicon nanocrystals in atmospheric pressure VHF microplasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of silicon nanocrystals in atmospheric pressure VHF microplasma

著者

和文:	野崎智洋, Daisuke Asahi, Kenji Sasaki, Ken Okazaki.
英文:	Tomohiro Nozaki, Daisuke Asahi, Kenji Sasaki, Ken Okazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

pp. 493-494

出版年月

2006年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-6/SPP-23)

開催地

和文:
英文:	Matsushima, Sendai