Synthesis of nc-Si dots using atmospheric pressure microplasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of nc-Si dots using atmospheric pressure microplasma

著者

和文:	野崎智洋, Daisuke Asahi, Kenji Sasaki, Ken Okazaki.
英文:	Tomohiro Nozaki, Daisuke Asahi, Kenji Sasaki, Ken Okazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 3rd International Workshop on Microplasmas

巻, 号, ページ

pp. 186-189

出版年月

2006年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	3rd International Workshop on Microplasmas

開催地

和文:
英文:	Greifswald, Germany