Oxidation of metal surface in atmospheric pressure nin-equilibrium water vapor plasma generated by RF Barrier discharge

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Oxidation of metal surface in atmospheric pressure nin-equilibrium water vapor plasma generated by RF Barrier discharge

著者

和文:	Yukiko Sawado, Tatsuya Suzuki, Yasuhiko Fujii.
英文:	Yukiko Sawado, Tatsuya Suzuki, Yasuhiko Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 405-406

出版年月

2006年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	6th International Conference on Reactive Plasmas and 23ed Symposium on Plasma Processing

開催地

和文:
英文:	Matsushima/Sendai, Japan