Current Control of Discharge-Pumped-Plasma EUV Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Current Control of Discharge-Pumped-Plasma EUV Source

著者

和文:	A.Kikuchi, K.Takahashi, M.Masnavi, M.Nakajima, T.Kawamura, M.Shiho, E.Hotta, K.Horioka.
英文:	A.Kikuchi, K.Takahashi, M.Masnavi, M.Nakajima, T.Kawamura, M.Shiho, E.Hotta, K.Horioka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	National Institute for Fusion Science

巻, 号, ページ

Vol. NIFS-PROC-64 pp. 1-5

出版年月

2006年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The Frontiers of Pulse Power and Particle Beam Technology

開催地

和文:
英文: