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論文・著書情報


タイトル
和文:SiO2細線埋め込みHBTにおけるコレクタ容量削減のための200nm厚細線 
英文: 
著者
和文: 山下浩明, 三浦　司, 高橋新之助, 宮本恭幸, 古屋一仁.  
英文: 山下浩明, 三浦　司, 高橋新之助, 宮本恭幸, 古屋一仁.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 27a-SM-8       
出版年月 2007年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:応用物理学会関係連合講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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