Structure of atmospheric pressure non-equilibrium plasmas and application to advanced materials processing

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧非平衡プラズマの構造と物質変換への応用
英文:	Structure of atmospheric pressure non-equilibrium plasmas and application to advanced materials processing

著者

和文:	野崎智洋, Ken Okazaki, Joachim Heberlein, Uwe Kortshagen..
英文:	Tomohiro Nozaki, Ken Okazaki, Joachim Heberlein, Uwe Kortshagen..

言語

English

掲載誌/書名

和文:	真空誌
英文:	Vacuum

巻, 号, ページ

Vol. 47 No. 12 pp. 100-110

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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