磁場ガイド放電プラズマを用いた長パルスEUV光源

論文・著書情報

タイトル

和文:	磁場ガイド放電プラズマを用いた長パルスEUV光源
英文:	Long Pulse EUV SOurce using Discharge Produced Plasma Guided by a Magnetic Field

著者

和文:	寺田健, 中島充夫, 河村徹, 細貝知直, 堀田栄喜, 堀岡一彦.
英文:	Takeshi Terada, MITSUO NAKAJIMA, Tohru Kawamura, Tomonao Hosokai, EIKI HOTTA, KAZUHIKO HORIOKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料
英文:	The Papers of Technical Meeting on Pulsed Power Technology

巻, 号, ページ

Vol. PPT-07-38～47 pp. 41-45

出版年月

2007年11月

出版者

和文:	電気学会
英文:	IEE Japan

会議名称

和文:	パルスパワー研究会
英文:	Technical Meeting on Pulsed Power Technology

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo