Surface adhesion reduction in silicon microstructures using femtosecond laser pulses

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface adhesion reduction in silicon microstructures using femtosecond laser pulses

著者

和文:	N.C. Tien, S. Jeong, L.M. Phinney, 伏信一慶, J. Boker.
英文:	N.C. Tien, S. Jeong, L.M. Phinney, KAZUYOSHI FUSHINOBU, J. Boker.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 68 No. 2 pp. 197-199

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: