Characteristics of Thin Film Metallic Glass for MEMS and Precise Part

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of Thin Film Metallic Glass for MEMS and Precise Part

著者

和文:	櫻井淳平, 秦誠一, 下河邉明.
英文:	Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. Second TIT-BIT Joint Work Shop on Mechanical Engineering

巻, 号, ページ

pp. 62-67

出版年月

2007年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Second TIT-BIT Joint Work Shop on Mechanical Engineering

開催地

和文:
英文:	Tokyo