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論文・著書情報


タイトル
和文:酸素プラズマによる表面処理を用いたInP-Si常温ダイレクトボンディング 
英文: 
著者
和文: 武井, 水本.  
英文: Ryouhei Takei, Tetsuya MIZUMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2007年秋季第68回応用物理学会講演会講演概要 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 4p-P3-25
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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