The Flow, Temperature and Concentration Fields in Reactive Plasmas in an Inductively Coupled R.F. Discharge -Characteristics in Argon-Oxygen and Argon-Nitrogen Plasmas-

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The Flow, Temperature and Concentration Fields in Reactive Plasmas in an Inductively Coupled R.F. Discharge -Characteristics in Argon-Oxygen and Argon-Nitrogen Plasmas-

著者

和文:	渡辺隆行, Naoto Tonoike, Takuya Honda, Atsushi Kanzawa.
英文:	Takayuki Watanabe, Naoto Tonoike, Takuya Honda, Atsushi Kanzawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Chemical Engineering of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 24 No. 1 pp. 25-32

出版年月

1991年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文:

DOI