強誘電体および高誘電率材料をゲート絶縁膜に用いた酸化物チャネル薄膜トランジスタ

論文・著書情報

タイトル

和文:	強誘電体および高誘電率材料をゲート絶縁膜に用いた酸化物チャネル薄膜トランジスタ
英文:

著者

和文:	徳光永輔, 柴田宏, 大岩朝洋, 近藤洋平.
英文:	EISUKE TOKUMITSU, Hiroshi Shibata, Tomohiro Oiwa, Youhei Kondou.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	信学技報、SDM2008-11、OME2008-11(2008-4)
英文:	IEICE Technical Report、SDM2008-11、OME2008-11(2008-4)

巻, 号, ページ

Vol. 108 No. 1 pp. 51-56

出版年月

2008年4月

出版者

和文:	電子情報通信学会
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

アブストラクト

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