A self-running standing wave-type bidirectional slider for the ultrasonically levitated thin linear stage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A self-running standing wave-type bidirectional slider for the ultrasonically levitated thin linear stage

著者

和文:	小山大介, 武井裕之, 中村健太郎, 上羽貞行.
英文:	Daisuke Koyama, Hiroyuki Takei, Kentaro Nakamura, Sadayuki Ueha.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

巻, 号, ページ

vol. 55 no. 8 pp. 1823-1830

出版年月

2008年8月

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI