Damage free PECVD based on atmospheric pressure non-thermal plasma and application to high-purity vertically-aligned single-walled carbon nanotube synthesis

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Damage free PECVD based on atmospheric pressure non-thermal plasma and application to high-purity vertically-aligned single-walled carbon nanotube synthesis

著者

和文:	野崎智洋, 大西空摩, 岡崎健.
英文:	T Nozaki, K Ohnishi, Ken Okazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Bulletin of the American Physical Society

巻, 号, ページ

出版年月

2007年10月

出版者

和文:
英文:	60th Annual Gaseous Electronics Conference

会議名称

和文:
英文:	60th Annual Gaseous Electronics Conference

開催地

和文:
英文:	Arlington, VA