Diamondoids as Low-k Dielectric Materials

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Diamondoids as Low-k Dielectric Materials

著者

和文:	W. A. Clay, 笹川崇男, M. Kelly, J. E. Dahl, R. M. K. Carlson, N. Melosh, Z.-X. Shen.
英文:	W. A. Clay, T. Sasagawa, M. Kelly, J. E. Dahl, R. M. K. Carlson, N. Melosh, Z.-X. Shen.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

98 172901

出版年月

2008年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: