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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Micro Cantilever Type Magnetic Actuators Using NdFeB Thin Film 
著者
和文: Yao Sen, 後藤 駿治, 櫻井 淳平, 進士 忠彦, Minoru Uehara.  
英文: Sen Yao, Shunji Goto, Junpei Sakurai, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 549-550
出版年月 2008年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
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開催地
和文:東北大学 川内北キャンパス 
英文: 

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