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論文・著書情報


タイトル
和文:強誘電体・高誘電率材料をゲート絶縁膜に用いたIGZOチャネル薄膜トランジスタの作製と評価 
英文: 
著者
和文: 大岩朝洋, 近藤洋平, 中田充, 徳光永輔.  
英文: Tomohiro Oiwa, Youhei Kondo, Mitsuru Nakata, Eisuke Tokumitsu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         3a-K-9
出版年月 2008年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第69回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:中部大学 
英文: 

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