Error analysis of local model fitting method in single-shot surface profiling.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Error analysis of local model fitting method in single-shot surface profiling.

著者

和文:	横田達也, 杉山将, 小川英光, Kitagawa, K., Suzuki, K..
英文:	Yokota, T., Sugiyama. M., Ogawa, H., Kitagawa, K., Suzuki, K..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	In Proceedings of the Japan Society for Precision Engineering,

巻, 号, ページ

no. C02 pp. 167-168

出版年月

2009年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2009 Spring Meeting

開催地

和文:
英文:	Tokyo, Japan