Trends of Preparation and Application of DLC Films –Atmospheric DLC Deposition–

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Trends of Preparation and Application of DLC Films –Atmospheric DLC Deposition–

著者

和文:	大竹尚登, 齊藤雅典.
英文:	Naoto OHTAKE, Masanori SAITO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of The 3rd Japan-India Joint Seminar on Production/Quality Control & Micro/Nano Manufacturing Science

巻, 号, ページ

pp. 37-41

出版年月

2008年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: