The interpolated local model fitting method for accurate and fast single-shot surface profiling.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The interpolated local model fitting method for accurate and fast single-shot surface profiling.

著者

和文:	横田達也, 杉山将, 小川英光, Kitagawa, K., Suzuki, K..
英文:	Yokota, T., Sugiyama, M., Ogawa, H., Kitagawa, K., Suzuki, K..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Optics

巻, 号, ページ

vol. 48 no. 18 pp. 3497-3508

出版年月

2009年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI