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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deposition of Diamond-Like-Carbon Films using Transient Glow Microdischarges Powered by Fast Pulse-Train Voltages at Atmospheric Pressure 
著者
和文: 井深 真治, 菊地 淳, 五十嵐 晃一, 吉田 直晃, 石井 彰三.  
英文: SHINJI IBUKA, JUN KIKUCHI, KOICHI IGARASHI, NAOAKI YOSHIDA, SHOZO ISHII.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Fundamentals and applications of microplasmas 
巻, 号, ページ         Page P2-16
出版年月 2009年3月 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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