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論文・著書情報


タイトル
和文:V型超音波モータを用いた高速分解能ステージ 
英文: 
著者
和文: 阿隅一将, 福永了一, 藤村健, 黒澤実.  
英文: Kazumasa Asumi, Ryoichi Fukunaga, Takeshi Fujimura, Minoru Kuribayashi Kurosawa.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第29回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 359-360
出版年月 2008年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第29回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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