Fabrication of In-Ga-Zn-O channel thin film transistors with high-k and ferroelectric gate insulators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of In-Ga-Zn-O channel thin film transistors with high-k and ferroelectric gate insulators

著者

和文:	徳光永輔, 大岩朝洋.
英文:	E. Tokumitsu, T. Oiwa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2009年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 23)

開催地

和文:
英文:	The Netherland