パルスプラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ成膜時のパルス周波数が膜中水素量に及ぼす影響 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	パルスプラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ成膜時のパルス周波数が膜中水素量に及ぼす影響
英文:

著者

和文:	藤本真司, 赤坂大樹, 鈴木常生, 大竹尚登, 高井治.
英文:	藤本真司, Hiroki Akasaka, 鈴木常生, NAOTO OHTAKE, Osamu Takai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第70回応用物理学会学術講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2 pp. 530

出版年月

2009年9月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第70回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	富山大学
英文:

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