Positioning Control of a Cantilever Type Micro Actuator Using High-performance NdFeB/Ta Thin Film Magnets and Built-in Displacement Sensor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Positioning Control of a Cantilever Type Micro Actuator Using High-performance NdFeB/Ta Thin Film Magnets and Built-in Displacement Sensor

著者

和文:	Yao Sen, 後藤駿治, 田辺亮, 進士忠彦, Minoru Uehara, Hitoshi Yamamoto.
英文:	Sen Yao, Shunji Goto, Ryo Tanabe, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara, Hitoshi Yamamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 2009 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment

巻, 号, ページ

pp. 407-408

出版年月

2009年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	the 2009 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment

開催地

和文:
英文:	Tsukuba, Ibaraki