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論文・著書情報


タイトル
和文:Ti-Ni-Pd形状記憶スパッタ薄膜の開発とマイクロアクチュエータへの応用 
英文: 
著者
和文: 奥津和俊.  
英文: Kazutoshi OKUTSU.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名: 
言語  
学位授与組織 筑波大学 
報告番号  
学位授与日 2004/--/-- 
審査員  

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