Fabrication of   thin film metallic glass (TFMG) pipe for a cylindrical ultrasonic linear micro-actuator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of thin film metallic glass (TFMG) pipe for a cylindrical ultrasonic linear micro-actuator

著者

和文:	汪盛, 孫東明, 秦誠一, 櫻井淳平, 下河邉明.
英文:	Sheng Wang, Dongming Sun, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensor and Actuator A Physical

巻, 号, ページ

Vol. 153 pp. 120-126

出版年月

2009年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI