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論文・著書情報


タイトル
和文:二重管式同軸線路型MPCVD装置によるa-Si:H /Si3N4多層膜の作製とプラズマ測定 
英文: 
著者
和文: 浦野真理, 小山慎一, 菅井貴義, 加藤勇.  
英文: Makoto Urano, 小山慎一, 菅井貴義, 加藤勇.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2002年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第63回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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