Fabrication of the Optical Waveguide with Nano-Structure by DTLC-MPCVD method and the Characteristics

論文・著書情報

タイトル

和文:	ＤＴＣＬ‐ＭＰＣＶＤ法を用いたナノ構造を持つ光導波路の作製とその特性
英文:	Fabrication of the Optical Waveguide with Nano-Structure by DTLC-MPCVD method and the Characteristics

著者

和文:	大島正資, 篠原正仁, 浦野真理, 田丸直幸, 加藤勇.
英文:	Tadashi Ohshima, Masahito Shinohara, Makoto Urano, Naoyuki Tamaru, Isamu Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第20回プラズマプロセッシング研究会プロシーディングス
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 20 pp. 203-204

出版年月

2003年1月

出版者

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会議名称

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開催地

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