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論文・著書情報


タイトル
和文:ａ‐Ｓｉ：Ｈ／Ｓｉ３Ｎ４超薄膜多層膜の作製とＰＬ発光特性 
英文: 
著者
和文: 浦野真理, 小山慎一, 加藤勇.  
英文: Makoto Urano, 小山慎一, 加藤勇.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会学術講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 63    No. 2    pp. 829
出版年月 2002年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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