セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ−第6報摩擦力の測定− | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ−第6報摩擦力の測定−
英文:

著者

和文:	中村満, 小谷浩之, 高崎正也, 高島舞, 大竹尚登, 水野毅.
英文:	中村満, 小谷浩之, Masaya Takasaki, 高島舞, NAOTO OHTAKE, 水野毅.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

CD-ROM

出版年月

2010年3月

出版者

和文:	精密工学会
英文:

会議名称

和文:	2010年度精密工学会春季大会
英文:

開催地

和文:	埼玉大学
英文:

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