Siナノワイヤトランジスタの電気特性の断面形状依存症

論文・著書情報

タイトル

和文:	Siナノワイヤトランジスタの電気特性の断面形状依存症
英文:

著者

和文:	佐藤創志, 新井英朗, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 大毛利健治, 名取研二, 岩井洋, 山田啓作.
英文:	Soshi Sato, Hideaki Arai, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, 大毛利健治, KENJI NATORI, HIROSHI IWAI, Keisaku Yamada.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 13-270

出版年月

2010年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第57回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	東海大学（神奈川県平塚市）
英文: