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論文・著書情報


タイトル
和文:広域ナノパターンジェネレータ（ANGEL)の開発 
英文:A Newly Developed Advanced Nano-Pattern Generator with Large Work Area 
著者
和文: 新野秀憲, 吉岡勇人.  
英文: Hidenori SHINNO, Hayato YOSHIOKA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:機械技術 
英文:Mechanical Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 58    No. 5    pp. 18-22
出版年月 2010年5月 
出版者
和文:日刊工業新聞社 
英文:Nikkan Kogyo 
会議名称
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開催地
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