ナノ加工システム用超精密XY位置決めテーブル

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノ加工システム用超精密XY位置決めテーブル
英文:	Ultraprecision XY positioning table for nano manufacturing systems

著者

和文:	吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲, 進士忠彦, 佐藤海二.
英文:	Hayato Yoshioka, HITOSHI HASHIZUME, HIDENORI SHINNO, TADAHIKO SHINSHI, KAIJI SATO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会第５回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 04-3 pp. 103-104

出版年月

2004年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: