高性能薄膜永久磁石を用いた電磁力駆動型RF-MEMSスイッチ

論文・著書情報

タイトル

和文:	高性能薄膜永久磁石を用いた電磁力駆動型RF-MEMSスイッチ
英文:	Electromagnetic-Force-Driving Type RF-MEMS Switch Using High Performance NdFeB/Ta Thin Film Permanent Magnet

著者

和文:	石橋正登, 田辺亮, 進士忠彦, 上原稔.
英文:	Masato Ishibashi, Ryo Tanabe, TADAHIKO SHINSHI, 上原稔.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第22回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 10-252 p. 704-705

出版年月

2010年5月

出版者

和文:	日本機械学会
英文:

会議名称

和文:	第22回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
英文:

開催地

和文:	福岡県，北九州市
英文: