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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Stabilization on Fabrication of GaInAsP/InP Membrane Structure on SOI waveguide by Surface Activated Bonding
著者
和文:
長部 亮
,
奥村 忠嗣
,
近藤 志文
,
西山 伸彦
,
荒井 滋久
.
英文:
Ryo Osabe
,
Tadashi Okumura
,
Simon Kondo
,
Nobuhiko Nishiyama
,
Shigehisa Arai
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
The 37th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS 2010).
巻, 号, ページ
Vol. Kagawa, Japan No. FrP23
出版年月
2010年5月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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