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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Stabilization on Fabrication of GaInAsP/InP Membrane Structure on SOI waveguide by Surface Activated Bonding 
著者
和文: 長部 亮, 奥村 忠嗣, 近藤 志文, 西山 伸彦, 荒井 滋久.  
英文: Ryo Osabe, Tadashi Okumura, Simon Kondo, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:The 37th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS 2010). 
巻, 号, ページ Vol. Kagawa, Japan    No. FrP23   
出版年月 2010年5月 
出版者
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会議名称
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開催地
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